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类型硅片表面光泽度的测试方法GBT42789-2023.pdf

  • 上传人：一***
  • 文档编号：304196
  • 上传时间：2023-09-30
  • 格式：PDF
  • 页数：8
  • 大小：2.39MB
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    关 键  词：
    硅片 表面 光泽 测试 方法 GBT42789 2023
    资源描述：

    本文件描述了采用光反射法以 20度,60度或 85度几何条件测试硅片表面光泽度的方法。

    本文件适用于硅腐蚀片,抛光片,外延片表面光泽度的测试,不适用于表面有图形的硅片的测试。

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    本文标题：硅片表面光泽度的测试方法GBT42789-2023.pdf
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