关键尺寸扫描电子显微镜 校准规范JJF(冀) 213-2023.pdf

《关键尺寸扫描电子显微镜校准规范》讲解了河北省市场监督管理局发布的针对放大倍数为20k至200k的关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）的校准要求。规范详细描述了用于该仪器校准的技术标准和程序，确保测量精度符合要求。文档介绍了仪器的工作原理：在高真空条件下，通过电子枪发射的电子束轰击样品表面产生二次电子信号，转换为图像，并通过量测软件确定线条宽度值。关键术语包括线宽和线宽标准样板，明确了这些专用名词的具体定义及应用情境。技术特性涉及示值误差与重复性的规定。对于仪器正常工作所需环境条件进行了明确界定，包括温湿度、洁净度等要素，以避免外界因素干扰测量结果。同时列出了必备的标准校准器及其技术规格，例如线宽标准样板需达到U=3.0nm（k=2）扩展不确定度。在进行校准操作时，需要准备充分且使设备处于稳定状态后按照指定步骤开展测量，并特别强调X、Y轴向两次不同的线宽测量过程，确保多角度准确评估示值误差，最终结合所有点位的结果来判断CD-SEM的测量性能是否达标。

《关键尺寸扫描电子显微镜校准规范》适用于微电子行业中各类线路板以及其他需要精准测量线条宽度领域的企业和技术人员，帮助他们建立正确的校准实践。该标准同样对科研机构的研究人员有重要指导意义，在材料科学、纳米技术等相关领域的研发中发挥重要作用。此外，计量检测单位也能依据此文档制定更严格、更合理的测试方案和服务条款，提高业务能力，为制造业提供可靠的质量保证支持。