真空镀膜机安全管理规定.docx

真空镀膜机安全管理规定真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行“炼气”，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达 10 小时以上。调试时主要检查：1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间二、满足以上各项检查后，进入操作和使用：1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。2. 本设备通电及运行过程中， 请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。3. 确认安全无误时才能操作设备。4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。5. 设备及电源控制柜必须良好接地。6. 非专业人员请不要维修本设备。三、工作中还必须注意以下几点：1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中;2.真空室镀膜 200-250 次后，要清洗真空室和工作支撑架;3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂;4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件;5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳);7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修;8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外;9.镀膜机在工作过程中，不得断水，若在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化;10.关罗茨泵后一定要经过 1 分钟后才能关粗抽泵， 否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体，会损坏罗茨泵。