电子气体 四氟甲烷GBT43976-2024.pdf

《电子气体 四氟甲烷GBT43976-2024》讲解了有关四氟甲烷这种电子气体在生产、储存、运输以及应用过程中的技术要求、检验方法、包装规范和标识信息，旨在提高四氟甲烷使用的安全性。该标准针对四氟甲烷阐述了具体的技术指标参数，如纯度范围、杂质限量等，规定其纯度应达到一定的数值要求，并列出多种主要的有害物质含量上限来确保质量稳定可靠。为了保障安全与环保，在储存方面提及到环境因素影响下需要遵循的安全距离规则、通风条件设定还有防护设备配备；运输时，则强调容器选择依据、装载固定手段以及特殊情况下处置方案。文件中还对四氟甲烷的应用场景给出指导性建议，从芯片制造环节中的刻蚀工序到一些特殊的物理实验过程中发挥的作用都进行了详细的解析。

《电子气体 四氟甲烷GBT43976-2024》适用于从事四氟甲烷研发、生产加工、经销贸易的企业，这些企业在遵循国家标准以确保产品质量的同时，也能够依靠此规范来进行更合理科学的产品管控。另外也适用于直接利用四氟甲烷作为原材料或中间品的相关企业单位例如半导体材料厂、微电子产品制造商等，使它们能够在操作使用过程中严格执行各项条款从而最大程度保障工作人员生命健康安全和减少意外事故产生的可能性。