电子气体 八氟环丁烷GBT43977-2024.pdf
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电子气体 八氟环丁烷GBT43977-2024.pdf
《电子气体 八氟环丁烷GBT43977-2024》讲解了八氟环丁烷作为一种特定电子气体的详细标准与规范。这一标准规定了产品技术要求、试验方法和检验规则，为该产品的生产和使用提供了可靠的依据。它涵盖了从化学成分的具体组成到杂质限量的一系列内容，强调其高纯度特性在半导体工业制造中的关键意义。本标准还描述了针对八氟环丁烷气瓶的颜色标志与安全警示标识，并明确了不同阶段质量控制的重点项目及抽样流程。同时，对于产品的包装和运输过程的安全防护措施提出了具体而严格的规定。通过对八氟环丁烷特性和应用领域的深入探讨，标准指出其作为优良等离子体源材料在现代科技特别是集成电路工艺过程中扮演着不可替代的角色，为保障其稳定供给并减少安全隐患制定了全方位的技术准则。
《电子气体 八氟环丁烷GBT43977-2024》适用于电子材料生产企业尤其是涉及半导体晶圆加工、微电子产品制造业等相关机构或部门，在这些行业中需要精确使用高质量电子气体的地方，该文件能够为操作员以及质检人员提供指导性意见，以确保符合国家对相关气体产品质量及其安全管理的要求。此外，从事该气体生产合成的研究实验室或工程团队也能从该标准中学到专业规范的知识，有助于他们更好地遵循安全生产和高效工作的原则，提高企业综合竞争力。
