激光共聚焦显微镜校准规范JJF 2160-2024.pdf

《激光共聚焦显微镜校准规范》讲解了激光共聚焦显微镜的校准规范及其详细的技术要求。该规范由全国几何量长度计量技术委员会归口，由中国计量科学研究院、哈尔滨工业大学等单位起草。规范涵盖了激光共聚焦显微镜的计量特性，包括水平方向长度测量误差、垂直方向长度测量误差、水平方向长度测量重复性、垂直方向长度测量重复性、水平方向正交误差、畸变、最大可测倾角、水平方向拼接误差、垂直方向拼接误差和载物台定位误差。同时，规范还详细规定了校准条件、环境条件、校准项目和校准用标准器，并提供了具体的校准方法。此外，规范还包括校准结果的表达和复校时间间隔，以及附录中的不确定度评定和校准证书格式。

《激光共聚焦显微镜校准规范》适用于激光共聚焦显微镜的校准工作，特别适合于从事材料科学、微纳米加工、半导体器件和生命科学研究的实验室和技术人员。该规范不仅为相关行业的技术人员提供了详细的校准指南，还确保了激光共聚焦显微镜在各种应用中的准确性和可靠性。其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可以参考本规范进行操作。