氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法YST1654-2023.pdf

《氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法》讲解了针对氮化镓材料中痕量杂质元素定量分析的方法。该标准基于辉光放电质谱技术，旨在为半导体行业中广泛应用的氮化镓基器件提供精准的成分检测依据。文档详细描述了用于样品准备的技术规范，从样品制备过程中的处理步骤、环境条件到具体操作手法进行了说明。对测试仪器的选择和校准提出了明确建议，并规定了在测量过程中应遵循的操作规程以及质量控制措施。对于可能出现影响实验数据结果的各种误差源也做了列举与分析，给出了相应的修正方法。此外，报告结果的形式及准确度表述方式也有清晰的规定。为了保证不同实验室之间测定结果的一致性，还对重复性与再现性的要求做出了界定。

《氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法》适用于从事半导体材料研发和生产的机构，在进行氮化镓及相关化合物中痕量金属和其他杂质检测时可作为技术参考文件。对于高等院校、科研院所等研究机构而言，在开展新材料科学基础研究过程中涉及微量或超微量元素分析环节同样具有重要指导意义。它也是相关质量监督检验检疫部门实施产品质量监测评价的重要工具，以确保产品符合行业标准和技术要求。