蓝宝石图形化衬底片测试技术规范DB44T1328-2014.pdf

《蓝宝石图形化衬底片测试技术规范》讲解了针对用于LED制造的蓝宝石图形化衬底片（PSS）的一系列测试技术规范。文件首先规定了该标准的适用范围，明确了其适用于半导体照明器件中氮化物外延生长所用蓝宝石图形化衬底片。标准内容包括了术语和定义，详细描述了一些关键概念如图形节距、高度、宽度及表面质量相关的边宽、图形缺失等问题。此外，《蓝宝石图形化衬底片测试技术规范》还列出了详细的测试环境标准，将型式检验和仲裁环境分开，并对温度、湿度、洁净度等多个参数做出了明确限定，以保障测试数据的有效性与准确性。测试方法部分分别从图形结构、表面质量和一致性三个方面展开，并在附录中具体介绍了扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）及共聚焦显微镜等多种测量手段的操作说明和使用要求。报告格式则提供了统一的数据呈现形式，便于各环节的质量控制和结果比对。

《蓝宝石图形化衬底片测试技术规范》适用于从事LED制造以及相关半导体材料研发的生产企业与质检机构，同时也为生产过程中的蓝宝石基板制备环节提供科学依据。特别是在蓝宝石图形化衬底的设计和应用阶段，该技术规范能够为企业提供的产品标准化和一致性的参考基础。由于此规范明确了多项测试技术的应用方式及适用标准，因此也适合科研院所进行新材料研究开发时使用。通过严格执行此测试技术规范，能提升产品质量控制水平，同时提高工艺的可控性和再现性，在光电器件及相关领域的高质量制造中具有较高的推广价值。