探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范JJF(蒙) 113-2025.pdf
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探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范JJF(蒙) 113-2025.pdf
《探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范JJF(蒙) 113-2025》讲解了探针型导电类型及电阻率测试仪器在性能测试方面的相关技术标准与操作流程。文件明确规定了该测试规范适用于探针型导电类型测试仪以及二探针、四探针类型的电阻率测试仪，也推荐用于其他类似原理的探针式测量装置。全文引用了一些关键技术文档，包括有关半导体材料术语的标准、非本征半导体材料特性检测方法和多种常规检定规程，形成了支撑测试规范的基本框架。文中涵盖了术语定义、计量单位及关键设备的主要参数。特别针对测试对象，详细列出电气部件、探针部件及其安全相关的技术指标如绝缘电阻和抗电强度。此外，在实施条件上提供了具体环境因素的控制范围及其他配套校准器具的要求，确保测试工作的精确性和重复性得到保障。
《探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范JJF(蒙) 113-2025》适用于涉及半导体生产、检验和科研等领域，尤其对从事硅单晶、外延层、扩散层和离子注入层等产品开发与质量把控的相关实验室具有指导意义。该测试规范也可作为制造导电类型测试仪器及进行设备计量检测的技术依据，在电子产品原材料采购过程的物理性能评价环节中提供可靠的评判工具。
