碳酰氟中杂质的测定DB13T6140-2025.pdf

《碳酰氟中杂质的测定》讲解了用于电子工业气体碳酰氟中多种杂质成分的检测方法，其中包括氢气、氧气+氩气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、三氟化氮、氧化亚氮和氟化氢的含量测定。文件规定了杂质检测的技术原理、所使用的试剂与材料、仪器设备要求、样品条件、具体测定步骤以及结果处理方法。测定原理基于配备氦离子化检测器的气相色谱仪，通过样品气体在特定色谱柱上的分离以及与氦气的电离反应，输出相应的微电流进行定量分析。同时，还明确了载气与标准气体的技术指标、测定流程的气路布局，以及精密度、重复性和相对标准偏差的要求，确保测定数据的准确性和一致性。氟化氢则参考其他标准文件规定的分析方法进行测定，整个流程涵盖了仪器准备、标气和样品的进样与测定操作。

《碳酰氟中杂质的测定》适用于电子工业领域特别是电子气体生产和质量检测行业，适用于气体制造企业、半导体工业以及相关科研单位进行高纯度气体中微量杂质成分的定量分析。此外，对于从事标准气体研究、气体检测设备制造和相关实验室认可工作的单位也有重要的技术参考价值。该文档为碳酰氟气体质量监控提供标准化的操作规范，助力高纯气体领域技术水平的提升和行业标准化建设。