高纯溴化氢中杂质的检测DB13T6139-2025.pdf

《高纯溴化氢中杂质的检测》讲解了高纯溴化氢中多种杂质成分的检测方法与标准。文章指出，本标准适用于经精制纯化后获得的高纯溴化氢样品，检测的杂质包括氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、水、氯化氢以及多种金属离子的含量。在具体方法上，《高纯溴化氢中杂质的检测》提出采用氦离子化气相色谱法对气体成分进行检测，通过色谱柱分离后，利用检测器的电离原理对气体含量进行测定。对于水含量，《高纯溴化氢中杂质的检测》推荐按照光腔衰荡光谱法的标准执行；对氯化氢的含量则通过傅立叶红外光谱仪的测定方法完成；而对于金属离子的含量，则依据电子工业气体的标准测试法进行测定。本标准还设定了检测的限值，并对检测过程中所需使用的设备、材料和标准气体提出具体要求。此外，标准还明确了测试的样品技术指标，以确保检测精度和结果的可靠性。

《高纯溴化氢中杂质的检测》适用于半导体制造、光电子产业和精密材料制备等领域的相关企业和研究单位，这些行业对气体的高纯度具有严格要求。此外，本文还适合高纯度气体生产企业、实验室和分析测试中心的检测人员参考使用，以提高对生产过程和产品品质的监控能力，从而保障相关生产链条的连续性与高质量运行。