1.25%氪气氖气混合气中杂质的测定 色谱法DB13T6136-2025.pdf

《1.25%氪气/氖气混合气中杂质的测定 色谱法》讲解了针对电子工业用气体中1.25%氪气与氖气混合气的杂质检测方法，具体包括氧气+氩气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳和二氧化碳等六种成分的分析手段。全文明确了检测的原理，采用气相色谱法，分别配备热导检测器（TCD）和氦离子化检测器（PDD），通过色谱分离结合峰面积对比进行定性和定量分析。标准气体的配置、仪器设备的参数要求（包括色谱柱长度、材质和检测条件）、测定步骤及其注意事项（如取样置换、进样条件）也进行了详细规定。《1.25%氪气/氖气混合气中杂质的测定 色谱法》强调样品气的平行测定及计算过程，采用标准化公式确保测试结果准确性，还规定了检测限值及相对偏差的范围要求，以保证实验数据的重复性与可靠性。

《1.25%氪气/氖气混合气中杂质的测定 色谱法》适用于电子工业气体生产、储存与检测领域，特别是在特种气体质量监控方面，尤其适用于氪气/氖气混合气用于半导体制造、光学薄膜涂层和等离子显示等高精度制造场合。同时，也适合从事气体分析、计量机构以及第三方实验室的质检技术人员依据标准操作。此外，本文件对于相关设备供应商、气相色谱仪器制造商在开发和维护配套硬件及软件分析流程上亦具有参考价值，并可作为气体生产企业技术规范编写和内部标准培训的重要依据。