硅中代位碳含量的红外吸收测试方法GBT1558-2023.pdf

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文档编号：331036

上传时间：2024-06-08

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关键词：: 代位含量红外吸收测试方法 GBT1558 2023

资源简介：: 《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法GBT1558-2023》讲解了硅材料中微量化合物精确检测的标准程序和关键技术。该文档对红外吸收光谱技术在半导体材料研究的应用进行深入解析，特别针对硅基体内的杂质分析提供了系统指导。该标准规定了测量硅晶体中介质碳原子浓度的具体步骤，包括样品准备流程、仪器设置要求、数据采集与处理方式。文档详细描述了通过红外光谱法识别并量化硅内溶解态及替位型的微量碳元素过程。文中还列出了影响检测结果准确度的各项因素以及相应的优化措施。为了确保结果可靠，文中引入多个校准曲线示例来提高定量化验的准确性，并给出了完整的数学模型支持。最后，该文强调遵循本标准有助于提升硅质量评估精度，并且推动了相关领域产品质量改进和技术进步。

《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法GBT1558-2023》适用于半导体材料制造、光伏产业以及科研院所从事硅材料研究和应用的技术人员。对于希望了解或改进自身产品碳掺杂水平的企业工程师来说尤为重要。它不仅为实验室工作者提供了一个权威的操作指南，也为需要对生产过程中涉及的材料进行精确成分控制的工业用户提供可靠的参考依据。无论是科研开发还是实际生产线上的品控检验都能从中受益匪浅。

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