半导体材料术语GBT 14264-2009.pdf

《半导体材料术语GBT 14264-2009》讲解了本标准对半导体材料及其相关领域的主要术语和定义的规定。该标准详细描述了与半导体材料的生长工艺、加工过程、晶体缺陷分析以及表面污染处理等方面紧密关联的专业词汇和技术表述，为行业内的沟通交流建立了统一的语言基准。对于元素半导体材料以及化合物半导体材料，此标准给出了精确且规范性的界定，并通过一系列专业术语为从业人员理解这些复杂技术和现象提供了准确可靠的依据。本标准中提及的规范性引用文件，将ASTM F1241硅技术术语和SEMI M59硅技术术语引入了进来。这两份文件作为补充，其内容涉及了特定的技术术语及其定义，在特定领域的应用中保持一致性。需要注意的是，有标注日期的引用文件只适用于当时的版本，而未注明日期的，则应采用最新的有效版本。

《半导体材料术语GBT 14264-2009》适用于广泛参与半导体材料研发、生产、检测等环节的企业和个人。这包括但不限于从事元素和化合物半导体材料制造的工程师、技术人员、质检人员及研究人员。无论是新建生产线还是优化现有生产工艺过程中涉及到的交流和文档记录，这份标准都能起到关键的指导作用。它还为高校和科研机构进行相关学术研究、发表成果时提供了一套公认且权威的技术语言体系。