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关 键  词：

半导体材料术语GBT 14264-2009 半导体材料 术语 gbt

资源描述：

本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。

本标准适用于元素和化合物半导体材料。

规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而,励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准ASTM F1241 硅技术术语

SEMI M59硅技术术语

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