半导体单晶晶向测定方法GBT1555-2023.pdf
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半导体单晶晶向测定方法GBT1555-2023.pdf
本文件描述了X射线衍射定向和光图定向测定半导体单品品向的方法。
本文件适用于半导体单品品向的测定。X射线衍射定向法适用于测定硅、错、砷化锦、碳化硅,氧化嫁,氮化、锦化铜和磷化钢等大致平行于低指数原子面的半导体单品材料的表面取向:光图定向法适用于测定硅、锗等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向。
规范性引用文件
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