硅外延用三氯氢硅GBT30652-2023.pdf

《硅外延用三氯氢硅GBT30652-2023》讲解了针对电子工业使用的一种特殊化工原料——三氯氢硅在硅外延工艺中的应用标准与安全操作要求。该标准规范详细阐述了用于单晶硅片生长外延层过程中的三氯氢硅产品的纯度等级指标、检验检测方法以及相关环境、健康和安全措施等多方面的要求，确保产品在整个生产和运输流程中均符合高标准的质量控制体系。此国家标准更新版本明确了化学成分限制，对金属杂质和非金属杂质的限量做出具体说明；还介绍了气体释放量的限定范围与相应的监控机制，并为用户单位提供了一套完整的质量保证文件编写指导建议，包括批号记录、抽样计划和报告格式模板等内容；同时对于储存条件和防护措施进行了系统性梳理，提出防泄漏、防火灾等一系列预防方案，以保障工作人员的安全性和设备运行稳定性。另外文档强调企业应加强从业人员职业健康安全管理培训教育，制定应急预案，提高事故防范能力和应急响应水平。

《硅外延用三氯氢硅GBT30652-2023》适用于硅材料及半导体器件制造行业内的生产者、使用者及相关的研发设计机构。尤其对于从事于太阳能电池、集成电路芯片等领域中涉及单晶硅生长技术的研究人员和技术人员有极高的参考价值，能够帮助上述领域专业人士理解三氯氢硅这类关键原材料的技术规范，确保其选购、储存、使用过程中遵循国家规定的各项技术参数限制与安全指导方针，为我国新能源产业、电子信息技术等战略性新兴产业的发展奠定坚实的物质基础和技术支撑。